DS300 压力式质量流量控制器
DS300 Pressure Mass Flow Controller
- 设备特点
-
- 基于PTS(Pressure，Temperature，Space)的压力传感技术
- 基于AI的压力控制技术
- 全金属耐腐蚀技术
- 高准确度及高可靠性
- 产品应用
-
- 流量规格(N₂)(0～30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10) SLM
- 准确度±1% S.P. (≥10% F.S.) ，±1% F.S. (＜10% F.S.)
- 重复精度±0.2% F.S.
- 响应时间≤ 0.5sec
- 工作压力0.45MPa
