CS200 数字式质量流量计/质量流量控制器
CS200 Digital Mass Flow Meter/ Mass Flow Controller
- 设备特点
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- 恒功率传感器抑制零漂，保证了传感器线性
- 与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV
- 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电、数字，模拟输入输出
- 产品支持RS485，DeviceNet，EtherCAT等主流通讯方式
- 产品应用
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- 流量规格(N₂)10SCCM~50SLM
- 准确度±1.0% S.P. (＞35% F.S.) ±0.35% F.S. (≤35% F.S.)
- 重复精度±0.2% F.S.
- 响应时间≤ 0.8 sec
