QL 气路系统
QL Gas Circuit System
- 设备特点
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- 具有IC级复杂气路盘的设计能力
- 可以按照客户的需求进行气路盘的设计更改和定制化服务
- 具有多年研发和生产MFC的经验，可嫁接到气路盘的设计和生产中
- 具有高性价比优势
- 产品应用
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- 真空能力0.2Pa~1x10⁻⁶Pa
- 漏率（VCR密封）小于1x10⁻⁹Pa˙m³/s
- 管路内表面光洁度小于0.2Ra
- 管路内表面处理EP处理
- IGS尺寸1.125英寸
- 接口类型全金属密封
- 密封形式IGS-C型或VCR，卡套
- 颗粒度连续3次测试中，0.1um以下的颗粒数≤3个
